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臭氧發生器原料氣體絕 對不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環境內發生反應，從而對設備安全造成危害或損壞的物質。
眾所周知，爆炸的三要素是燃料、氧化劑和火種，而臭氧發生器的電暈環境中已存在兩項，即氧化劑和火種。因此必須防止在原料氣體中含有烴類燃料物質；如果有可能存在烴類物質，必須安裝烴類分析儀，以便當烴類濃度接近爆炸下限（LEl）的25%時切斷電源。
碳氟化合物，如特氟隆或冷卻劑都可在電暈中分解形成氟，后者能侵蝕玻璃介電材料，可加速介電體損壞。圍繞在電暈室外面的循環冷卻流體有可能通過密封泄漏并進入電暈空間，結果在介電體表面形成一層漆類，涂層。當發生這種情況時，由于這種涂層降低臭氧生產的效率，介電體必須定期予以清洗。

另外，原料氣還應濾除5μm左右的顆粒，以防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發生器電暈區。以免影響電暈效率。